[더벨]신성이엔지, 자체 개발 제습 모듈 ‘EDM’ 100대 출하

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신성이엔지가 자체 개발한 장비용 제습 모듈 ‘EDM(Equipment Dehumidify Module)’의 누적 출하량이 100대를 돌파했다고 2일 밝혔다. 지난 2023년 자체 개발을 완료하고 이듬해 3월 첫 납품을 시작한지 약 2년 만의 성과다.

EDM은 파티클 필터링(미세입자 제거)과 제습 기능을 하나의 모듈에 통합한 장비로 반도체 제조공정에서 필수 설비로 꼽힌다. 고성능 로터를 이용해 상대습도를 5%RH 수준까지 정밀하게 제어할 수 있고 실시간 습도 감지 센서와 자동제어시스템을 통해 공정 중에도 안정적인 제습 환경을 유지한다. 제조 라인 내 설치가 용이한 초소형 사이즈를 구현한 것이 특징이다.

EDM 개발은 고객사들의 수율 개선 요구에서 비롯됐다. 반도체 공정에서 습도는 수율에 직접적인 영향을 미치는 핵심 변수 중 하나다. 미세한 습도 변화도 불량률 상승으로 이어질 수 있기 때문이다. 신성이엔지는 자체 기술로 제습 모듈 개발에 착수해 2023년 개발을 완료하고 양산 체계를 갖췄다.

EDM은 국내 주요 반도체 장비·소재 기업에 공급되고 있다. 신성이엔지는 이번 100대 출하를 발판으로 공급처를 확대하고 기술 고도화에 주력할 계획이다.

김동권 신성이엔지 클린환경 연구실장은 “EDM은 1세대를 시작으로 2세대 슬림·모듈형까지 개발을 완료해 현장에 적용하고 있다”며 “올해를 기점으로 3세대 초소형 EDM 개발을 마무리할 계획”이라고 밝혔다.

이어 “고객의 요구사항을 면밀히 반영한 혁신 제품으로 기술을 고도화하고 EDM의 적용 범위를 다양한 산업 영역으로 넓혀 나가겠다”고 말했다.